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任天令,男,1971年9月出生于山东省济南市。1997年博士毕业于清华大学现代应用物理系。现为清华大学微电子所教授,博士生导师,微纳器件与系统研究室主任。
通信地址:北京清华大学微电子所,邮编100084 Tel:010-62789151转311
Fax:010-62771130,E-Mail: RenTL@tsinghua.edu.cn
一、研究方向:
1.新型微机电器件与系统(MEMS)
(1)硅微声学器件与系统;
(2)用于射频(RF)通信的薄膜滤波器、微型天线、电感等;
(3)集成微传感器(压力、加速度等);
(4)基于硅基铁电/压电材料的微传感器与执行器;
(5)面向生化、医学应用的新型微机电器件与系统
(1)铁电不挥发存储器FeRAM;
(2)铁电场效应器件FeFET;
(3)高介电常数(high K)材料在半导体存储技术中的应用;
(4)磁随机存储器MRAM
3.纳电子与自旋电子学
(1)基于磁阻效应(GMR、TMR等)或电子自旋的新型器件;
(2)新型纳米结构与器件
4.微纳电子技术中的新材料
(1)铁电/压电薄膜;
(2)磁性薄膜;
(3)其它应用于微纳电子器件的新材料
二、研究经历及成果:
先后参加和承担"七五"、"八五"、"九五"多项国家"863"、"攻关"任务,国家重点基础研究发展规划项目("973"),及国家自然科学基金课题等。
其中作为项目负责人承担的主要课题有:
1. 国家自然科学基金重点课题:用于SOC 的新一代嵌入式铁电存储 器材料、器件与兼容工艺;
2. 国家863重点项目:微麦克风实用化研究;
3. 国家自然科学基金:铁电-硅集成微麦克风和扬声器研究;
4. 与产业界合作课题:巨磁电阻(GMR)磁场传感器;
5. 清华大学基础研究基金:硅基铁电薄膜研究。
已在国内外学术期刊及学术会议上发表论文100余篇,已获得国家发明专利4项,获得科技成果鉴定1项。
三、获奖:
1 . 2004 年获得霍英东教育基金会第九届“高等院校青年教师奖”
2 . 2003 年获得清华大学“学术新人奖”
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