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  • 国际交流与合作
    --- 荷兰Delft大学作为国际著名大学长期与清华大学保持良好的合作关系，2001年成立了“清华—德尔福特微电子技术联合培训中心”，清华大学与Delft大学已经合作为国内数十名工程师举办了多期集成电路制造关键技术——光刻工艺技术培训班，取得良好的效果，对我国集成电路产业技术人才的培养发挥了积极的作用。
    --- 荷兰ASML公司是世界上最先进的光刻机制造厂商之一，2002年ASML公司与清华大学微电子学研究所签署了“ASML光刻机适应性技术研究”合作研究项目。ASML公司通过荷兰政府赠款向微电子所提供二台总价值280万欧元ASML2500/40、ASML5500/100D先进光刻机，并已应用到光刻技术、高压器件及EEPROM集成电路及工艺培训计划等多个项目的研究开发中。2005年，该设备已完全投入科研应用，并开始启动在光刻工艺技术、超高频小尺寸SiGe HBT、非挥发性存储器技术及其他共同感兴趣的先进技术领域的全面合作研究。
    --- 美国诺发（Novellus）公司是全球半导体行业先进设备工艺技术及高生产力领域领先企业，与清华大学微电子学研究所所有着长期的合作关系。2006年3月美国Novellus公司捐赠一台 200mm化学机械平坦化(chemical mechanical planarization) 设备，该设备将为我所工艺实验线在新技术研发中探索新的工艺流程，从而提高加工水平。
    --- 清华大学微电子学研究所与世界著名EDA软件公司Cadence、 Synopsys、Mentor等达成协议，连续多年向清华大学赠送价值数千万美元先进的深亚微米集成电路成套EDA设计软件，为提高我校及国内集成电路设计水平发挥了积极的作用。
    --- 世界知名EDA公司Mentor Graphics与微电子学研究所合作，举办了Calibre工具免费培训。该公司的Calibre 是目前业界用于深亚微米物理验证和版图寄生参数提取的工业标准。
    --- 我所开发的器件参数提取与优化技术程序转让美国Symmetry公司，已挂装于美国Mentor等公司大型EDA的VLSI设计软件之中。
    --- 美国飞兆半导体公司与我校签署协议合作建立芯片研发实验室，这是该公司在北京和上海分别设立芯片研发实验室之一。为我校提供为期5年的奖助学金，以便进一步发展学术研究项目。
    --- 2004年开始与日本Toshiba半导体公司合作进行CMOS工艺拈技术及稳定性研究，2005年启动本项目二期合作，开发用于试验线的双层金属化工艺拈。项目重点是要降低双层金属间的接触电阻（<1Ω/via），提高片内和片间接触电阻的均匀性，达到可以用于实际生产之目的。
    --- 我所与OMRON公司合作项目“小快速IEEE754标准二进制浮点运算处理器”2005年3月由该公司的技术专家一次验收完成，设计指标大大超过原定目标。

    加强与我国IC产业链的密切联系，提高科技教育对社会和国民经济的服务水平
    --- 2004年12月清华大学微电子学研究所集成电路开发与工业性试验线与中国电子信息产业集团公司（CEC）合作成立微电子工程中心，力争在与产业及产品的紧密结合中，为试验线的发展注入新的动力，将在特种硅集成电路、SiGe微波HBT器件及其单片微波集成电路、半导体非挥发性存储器等重点发展方向进行研究，并实现相关技术及产品的批量生产，成为先进的微波集成电路与特色硅集成电路开发、生产与服务及我国集成电路工艺技术人才培养基地。
    --- 2001年开始举办了各类IC技术培训班，为上海宏力半导体公司、首钢工学院、北京有冶硅股等企业培训技术骨干；还举办了多次EDA工具培训，利用现有的EDA设计平台进行技术培训，培训内容包括Verification with VCS和Chip synthesis with DC，取得了良好的效果。
    --- 2001年起举办二学位班，在学与毕业人数已达200多人；2003年起与北京市集成电路设计园联合举办工程硕士课程进修班。
    --- 作为教育部/科技部首批启动的“国家集成电路人才培养（清华）基地”，为满足国内集成电路产业对人才的急需，经清华大学研究生院批准，2004年开始由微电子学研究所及清华大学深圳研究生院合作，已经连续3年在电子与通信工程领域“集成电路设计”方向招收工程硕士研究生。
    --- 积极参与上海微电子研发中心的建设，利用上海市有关方面无偿提供的土地，筹建微电子研发中心，为上海及周边地区的集成电路产业经济圈服务。

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